検査設備
LMseries
±0.1μmの測定を可能とした高精度画像寸法測定器
簡単な操作で人によるバラつきがなく、高精度な測定
従来比10倍の解像度で、対象物のエッジを正確に捉えて検出
従来比2倍のステージ速度で、測定時間を短縮
※クリックで画像拡大
測定条件
AF高さ測定
XYステージ
Zステージ
繰り返し精度
測定精度(EUZ,MPE)
移動範囲
耐荷重
移動範囲
X･Y 軸(EUX,MPE,EUY,MPE)
ステージ移動あり
X･Y平面(EUXY,MPE)
±(1.8+0.02L)μm*3
±(2.8+0.02L)μm*3
±2μm
±(4.8+0.04L)μm*4
200mm×100mm(電動)
7kg
75mm(電動)
撮像素子
画像測定
種類
LM-1100
型式
1型 2000万画素 モノクロCMOS
視野
最小表示単位
繰り返し精度
測定精度
ステージ移動あり
広視野測定モード
高精度測定モード
視野内(2σ)
視野内(2σ)
広視野測定モード
高精度測定モード
X･Y軸
X･Y平面
広視野測定モード
高精度測定モード
206mm×106mm
0.1μm
±0.5μm
±0.1μm
±0.9μm
±2μm*1
±0.7μm*2
ヘッド
225mm×125mm
*1 20㎜の範囲、合焦点位置にて使用周囲温度＋23±1℃のとき
*2 5㎜の範囲、合焦点位置にて使用周囲温度＋23±1℃のとき
*3 ISO10360-7を参考、合焦点位置にて使用周囲温度＋23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき、ⅬはXYステージ移動量(㎜)
*4 ISO10360‐7を参考、使用周囲温度＋23±1℃、測定最大高さ設定50㎜以下のとき、ⅬはZステージ移動量(㎜)
IV4-CP70
瞬時に数量や抜けを判別
対象物の特徴をさまざまな観点から(形状･色･明るさ･エッジなど)抽出し、学習
登録した対象物の個数を数えたり、特定の品種ごとに数えることも可能
※100個に設定の場合
OK
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NG
※クリックで画像拡大
測定条件
輪郭
色平均/明るさ平均
幅
エッジ有無
エッジピクセル
位置補正
ブロブカウント
学習サーチ
色面積/面積
学習ツール
直径
ピッチ
はみ出し･ずれ
複数位置補正
学習カウント
学習OCR
形状の違いで判別
指定したエリアの色/明るさの平均値で判別
エッジ間の幅で判別
エッジの本数で判別
エッジの画素数で判別
対象物を捉えて、追従する機能
同じ色のかたまりの個数を数えて判別
色や形状を学習して対象物を見つける・判別する
指定した色/明るさの面積で判別
AIが違いを捉えて自動で判別
径の違いで判別
ピッチの違い・ピン幅・本数で判別
色・明るさのはみ出し･ずれで判別
各ツールごと個別に基準を決めて位置補正
色や形状を学習して対象物の数を数える
文字/数字/日付の違いで判別
